飛躍的に進歩する技術革新の中では独創的な研究開発が求められています。 ニクニのネクスト事業部は、創業以来培ってきた知識やノウハウ、テクノロジーを背景に 「ニクニ・オリジナル」の最先端精密機械の企画・開発から製造・販売まで行っています。
| 工程 | 従来の成膜工程 | 工程 | プレスサイト成膜工程 |
|---|---|---|---|
| 1 | 成型機からの取り出し（搬送） | 1 | →（同時に静電除去） |
| 2 | ゲート・ランナー切断 | 2 | →（状況により工程順位が変わる） |
| 3 | - 静電除去コンベヤー搬送 | − | × |
| 4 | - 防塵包装 | − | × |
| 5 | - 一時保管 | − | × |
| 6 | - 包装・開梱（輸送、長期保管発生時） | − | × |
| 7 | - 洗浄 | − | × |
| 8 | - 乾燥 | − | × |
| 9 | 治具への取り付け | 3 | →（自動） |
| 10 | 成膜室への投入 | 4 | →（自動） |
| 11 | 排気 高真空（１０-3Pa／約２５分） | 5 | →低真空（1Pa／約３０秒） |
| 12 | アルゴンガス導入と真空度制御（２〜３Pa） | 6 | → |
| 13 | 成膜（約３０秒） | 7 | →（約1０秒） |
プレスサイト成膜より6工程を削減！！
| 従来成膜法 | NECS'T | |
|---|---|---|
| 成膜法 | 蒸着（バッチ処理） | スパッタリング |
| 成膜室容積 | 3000L | 230Ｌ |
| サイクルタイムと稼働時間 | 30ｍｉｎ、16ｈ／日 | 1ｍｉｎ、16ｈ／日 |
| 基板セット数／ バッチ（サイクル） |
50ヶ | 2ヶ |
| 処理回数／日 | 50ヶ×2回×16ｈ＝1600ヶ | 2ヶ×60回×16ｈ＝1920ヶ |
| 真空ポンプ１ 油回転ポンプ | 11ｋＷ 8ｍｉｎ／バッチ 8×32÷60×11≒47kWh |
11kW 0.25ｍｉｎ／サイクル 0.25×60×16÷60×11≒44kWh |
| 真空ポンプ２ | メカニカルブースタ（18.5kW） 5ｍｉｎ／バッチ 32×5÷60×18.5≒49ｋＷｈ |
ドライ真空ポンプ（5.1kW） 0.33min（約20秒）／サイクル 0.33×60×16÷60×5.1≒27kWh |
| 真空ポンプ３ | ＤＰ36インチ拡散ポンプ（ヒータ／11kW） 11ｋＷ×16+ｈ＝176kWh |
不要 |
| 合計消費電力量 | 272ｋＷｈ（100％） | 71ｋＷｈ（26％） |
| 基板１ヶ当たりの消費電力量 | 0.170ｋＷｈ | 0.044ｋＷｈ |
※ワークサイズ：250×150×100H
工程削減による効果を試算すると、トータルでエネルギー消費は従来の1/10以下です。
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・2012年度の展示会
・2011年度からの展示会
