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薄膜・表面処理技術"ニクニオリジナル"の最先端精密機器

ニクニNiS Gunのご紹介

NiS Gun NiS Gunカタログダウンロード


NiS Gunの用途

  • 切削工具、金型、自動車・二輪車電子部品
  • 弱電・OA・AV部品、医療
  • 金属の窒化処理への利用 etc.

NiS Gunの特長

  • 既存の蒸着機の外付け可能
  • イオンプレーティングだけでなく、スパッタ、アシスト蒸着、CVDにも利用可能
  • フィラメントレスの為高寿命
  • 日常メンテナンスの負荷軽減の為、メンテナンス部の軽量化を実現
  • 10-3Pa台の圧力でも高密度プラズマを発生

NiS Gunの基本仕様

  • 寸   法 : Ø210X304mm
  • 質   量 : 8.5kg
  • 放電出力 : 110V・200A
  • 動作圧力 : 7X10-3〜1X10-1Pa
  • 放電ガス : 各種反応ガスに対応

NiS Gunの電源

  • 供給電源 : AC200V±10% 3Ø 50/60Hz 80A
  • 出   力 : 20KVA
  • 外形寸法 : 570(W)X850(D)X1400(H)以上mm
  • 重   量 : 約390kg

NiS Gunの成膜可能膜

  • Al2O3・Cr2O3・HfO2・IrO2・TiO2・SiO2・Ta2O5・ZrO2・Si3N4・ITO・DLC・TiCN・CrN・HfN・TiN・HfC・SiC・TiC
    金属膜など

NiS Gunの性能

  • 成膜速度:15Å/sec(TiN:電流100A)
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