液封式真空ポンプ カップリング直結型 多材質対応
プロセス向け
二段式 液封式真空ポンプ
ZV
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| 特 長： |
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用途
- 製紙（黒液[濃縮]）
- 電機・電子（純水製造[脱酸]・CVD装置[反応済ガズの排気]）
- インフラ産業（蒸気タービン復水器[排気]・スポンジボール洗浄[含浸]）
- 化学（染色[含浸]・石油精製[蒸留]）
- 食品・医療（野菜[冷却]・炭酸水精製[脱気]・食肉、マグロ漬[含浸]・オートクレーブ[減菌]）
納入事例
復水器 抽気用 ： 蒸気タービン復水器内を減圧させ、タービンの回転効率を上げます。
CVD装置 ： CVD装置内を減圧して、ガス状の気体原料を装置内へ安定的に取り入れます。
特長
- 部品ごとで材質変更や交換が可能なため、メンテナンス費用を大幅削減！
- 幅広いラインアップ!
- 海外含めて、現地修理での修理対応が可能！
- 真空システムでの提案も可能！
予想曲線
標準仕様
外形図
寸法表
よくあるご質問
液封式真空ポンプとはどのようなポンプですか？
ケーシング内に入れた液体を使い、三日月形の気体の空間を作り、膨張圧縮を繰り返すことで動作する真空ポンプです。特徴は金属接触がないので、安定して気体を移送できることです。また、もともと液体を入れているので、水蒸気を含んだ気体や可燃性ガス（溶剤系）の吸引なども可能です。
液封式真空ポンプの補給水量はどれくらいですか？
カタログの真空ポンプ性能表をご参照ください。なお、補給水量が過多の場合、モータの過負荷につながる場合があります。
詳細特長
酸性ガスの吸引に「要部ハステロイの液封式真空ポンプ」
化学プラントやCVD(化学蒸着工程)など、酸性ガスを吸引するため真空ポンプの腐食が問題となります。
数カ月で補修や交換などランニングコストも手間もかかって困る。
そんなお困りごとをニクニのZVが解決します！
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代表型式：
ZV210 ・ ZV214 ・ ZV219 ・ ZV314 ・ ZV319 ・ ZV325 ・ ZV424 ・ ZV430 ・ ZV435 ・ ZV533 ・ ZV542 ・ ZV638 ・ ZV646
ZV210 ・ ZV214 ・ ZV219 ・ ZV314 ・ ZV319 ・ ZV325 ・ ZV424 ・ ZV430 ・ ZV435 ・ ZV533 ・ ZV542 ・ ZV638 ・ ZV646
【プロセス用】